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CF式水冷电极组件应用于真空炉上电极和加热带的连接，适用于超高真空状态，整个组件由CF密封法兰，CF焊接法兰，无氧铜垫圈，紫铜连接板，进水口管，出水管组成，组装时通过法兰压缩无氧铜垫圈实现密封
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