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1953年美国物理学家查尔斯·哈德·汤斯和他的学生阿瑟·肖洛制成了第一台微波量子放大器，获得了高度相干的微波束。1958年C.H.汤斯和A.L.肖洛把微波量子放大器原理推广应用到光频范围，1960年T.H.西奥多·梅曼制成了第一台红宝石激光器。1961年伊朗科学家A.贾文等人制成了氦氖激光器。1962年R.N.霍耳等人创制了砷化镓半导体激光器。以后，激光器的种类就越来越多。按工作介质分，激光器可分为气体激光器、固体激光器、半导体激光器和染料激光器4大类。近来还发展了自由电子激光器，大功率激光器通常都是脉冲
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