流量控制器各视角图
质量流量控制器采用金属焊接密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属焊接密封的MFC。
流量控制器等轴侧图
流量控制器线框图
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