HVPE衬底托架装置
一种新型HVPE衬底托架装置模型，包括真空反应室，过渡腔，过渡腔进水嘴,过渡腔出水嘴,上进气法兰,上进气接头,下密封法兰,下密封法兰进水嘴,下,抽气法兰,齿轮一,齿轮二,旋转轴承,压板,齿轮套,支撑连接管,衬底托架一,衬底托架二,内套管,外套管,手动锁紧装置,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:结构设计合理,采用上进气下抽气的方式,反应室内气体能够均匀通过衬底片,衬底托架一既可以放一片衬底片,也可以安装衬底托架二,可以同时放3片衬底片。
HVPE衬底托架装置纵剖图
HVPE衬底托架装置轴测图
HVPE衬底托架装置四视图
