MOCVD外延片加工周转单元设计

MOCVD外延片加工周转单元设计工作原理是采用物理或化学方法使物质附着于衬底材料表面的过程，常见生长物质包括金属、氧化物、氮化物等不同薄膜。根据工作原理不同，薄膜沉积生长设备可分为：物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和外延等类别。