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在MEMS制造中,经常需要对两个芯片进行精确对准和键合以建造三维结构。芯片键合机可以用来手动键合两个芯片。应用于芯片准直;阳极键合;封装;各种胶合过程(如:UV、环氧树脂、热胶合等)。优点:快速芯片准直;安全操作;可以定制用于不同用途;结构小巧;简单易用。图纸格式为XT,有需要的可以看看。
俯
局部放大图
前
轴测图
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