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提篮(晶圆框架盒Cassette):众所周知一片晶圆的产生需要经过漫长复杂的工艺制作而成,如果保护不好对晶圆片造成了划伤、缺口对下一道工序影响非常的大,甚至片晶圆片报废。这个情况是相关生产企业非常不愿意看到的结果,所以在晶圆切割的时候对晶圆片的保护显得格外的重要。晶圆框架盒可以避免晶圆随意滑动,避免胶带的皱摺与晶粒之相互碰撞,保护晶圆片的完整度,同时便于周转搬运。经过设计的12寸晶圆框架盒产品,符合DISCO/ks切割机的行程工艺要求,深受半广大半导体企业的青睐。
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