探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统模型
探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统,具有旋转角度和顶升功能,是全自动探针台的核心部件。兼容8寸与3寸,XYZR四轴可以调节,sw2020版本,另含step通用格式,可供大家参考!
探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统纵剖图
晶圆承片台XY系统
承片台旋转顶升系统
探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统主视图
探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统侧视图
探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统俯视图
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