该机构是半导体封装设备的标准机构,常见于固晶设备和分选设备,wafer table模组含有由高精度直线电机驱动XY模块,以及由步进电机驱动的Z轴以及旋转机构,适用于生产12英寸晶圆。内含stp图档,欢迎下载使用!
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