XYZ三轴平移台
XYZ三轴平移机构Z轴采用同步带将4根丝杆同步顶升，XY采用常规伺服平移用于在线式托盘平移常用于腔体托盘Z轴移动，结构简单供大家学习下载..
XY移动平台
Z轴提升机构
托盘定位顶升机构
正视图
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