二路转子混气装置气路图

二路转子混气装置用于电子陶瓷、CVD、等工艺设备的前端供气装置，可将2种不同气体进行不同比例的混合，经转子流量计调节进气流量，通过混气罐混合，尔后经混气阀、输出管道进入工艺设备。可调节流量大小，气体比例。