硅片多线切割机床
硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式,也不同于先进的激光切割和内圆切割,它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦,从而达到切割效果。在整个过程中,钢线通过十几个导线轮的引导,在主线辊上形成一张线网,而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有:效率高,产能高,精度高等优点。是目前采用最广泛的硅片切割技术。
本次设计对硅片多线切割机整体进行设计,其主要包括:机架部分,工作台部分,线架部分和送丝部分组成。本文首先介绍整机的工作原理和设备方案,然后重点对工作台部分进行设计计算,最后对上托板导轨进行有限元分析。
床身
滚珠丝杠
上拖板
上拖板导轨
手动升降部装
手动升降丝杆
下线架
中拖板
X轴丝杠座
工作台装配图
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线架装配图
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