正等测线纹尺
本课题主要研究数控机床定位精度及其三种检测方法及标准,通过学习数控机床定位精度的具体内容，了解数控机床定位精度检测的三种方法－－块规法、线纹尺－显微镜法及双频激光干涉仪检测法。其中重点学习双频激光干涉仪在直线运动定位精度检测中的工作原理、使用方法及后续数据采集与处理。在标准方面，学习了解标准中的国际标准ISO 230-2、德国标准VDI/DGQ 3441、日本标准JIS B6336及我国标准GB10931-89。分析各标准数据采集及处理方法并通过表格、曲线及文字形式对四种标准作比较并得出一定结论。由于标准中的日本标准及德国标准均为原文标准，相信在理解上会有难度，故研究将在这方面更多的参照目前国内的一些分析报告。
本完成手段主要为查阅图书馆藏书、期刊中对数控机床定位精度的定义及相应检测手段和所采用的标准。同时通过网络查阅国内外相关的数控机床验收及位置精度检测手段的研究，加深对该课题的认识和理解。通过上述准备，本将对目前国际盛行的数控机床位置精度检测中的双频激光干涉仪的工作原理及相关使用进行介绍，同时通过对国际标准、德国标准、日本标准及中国标准的学习，将通过表格、曲线及文字形式对四种标准的数据采集方法及后续数据处理方式进行分析比较。
标准长度刻度尺和光学读数显微镜检测法测量误差来源及分析如下
（1）仪器的极限误差1im 1
（2）标准件的误差1im 2
它是标准器本身固有的误差,与测量方法无关。
（3）安装误差1im 3
它主要是由测量轴线(线纹尺)与机床移动的轴线不平行而引起的误差。其量值大小与其测量长度L及两轴之间夹角H的余弦成正比.
即: 1im3=L(1-cosH),由于用杠杆千分表进行校正,其,此项误差可忽略不计
（4）温度误差1im 4
由于测量过程中线纹尺和机床的光栅尺存在着温度误差,必须对各点的位置偏差进行误差修正。根据温度误差的计算公式得温度误差的修正值:
(3-3)
式中： ——线纹尺或机床光栅尺的线膨胀系数；
L——测量长度；
t2——机床光栅尺的温度；
t1——线纹尺的温度；
由(3-3)式微分可得:
(3-4)
式(3-4)中,表示由于线纹尺和机床光栅尺的线膨胀系数不准确而造成的误差。式(3-4)中,表示由于测量过程中温度测量不准确而造成的误差
1im4= （3-5）
（5）估读误差1im 5
测量总误差为:
1im总= （3-6）
从上面分析可以看出,在诸项误差中,温度误差中的线膨胀系数的误差和温度测量的误差两项是影响最大的,它不但包括温度测量的误差,还包括标准件和被测件各部位的温度均匀性。为了减少这项误差,要求在测量时,标准件和被测件需在恒温条件下长时间等温,以保证各处温度的均匀性;同时要尽量提高温度测量的精度。
斜二测
正等测激光
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