全自动湿法清洗机设计三维SW模型图纸

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全自动湿法清洗机，主要用于4″蓝宝石的硝酸电化学刻蚀工艺。设备尺寸主机台4800mm(L)×2000mm(W)×2600mm(H)；操作方式：采用触摸屏+PLC控制，除手动上下料（晶圆挂具）外，其余中间全过程均由机械手完成硝酸刻蚀、清洗、氮气烘干工艺，24片盒/槽次。该设备属于半导体定制设备，设计制造符合国际半导体设备及材料协会的SEMIS2-93标准。

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