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8寸晶圆片磁力轮传输架系统

图片展示附件预览 2024-11-21 文件列表浏览 下载 收藏已收藏 报告错误 手机访问 [复制链接]

8寸晶圆片磁力轮传输架系统

3D图

1,该传输段采用磁力轮提供动力,从驱动源电机到传送轴旋转均采用磁力轮结构,真正做到无污染传送架,
2,轮子采用防静电材料成型,理论上对晶圆或同尺寸方片无静电伤害;
3,两段布局,该架可暂停2PCS产品
4,主要配件型号设计图中有,可直接用于设备设计模块使用,针对产品的重量要求可分析扭矩做相应变更。

主视图

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俯视图

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左视图

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