轴视图
此图为晶圆寻边器三维模型图纸,适应尺寸:12寸,功能:可将晶圆置于其上,自动识别晶圆的平边/Flat/Notch,并旋转到特定的角度,使晶圆能够处于期望的角度上,多用于EFEM搬运系统,solidworks格式文件,同时包含XT格式
侧视图1
侧视图2
俯视图
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