轴视图
此图为晶圆寻边器三维模型图纸，适应尺寸：4、5、6、8寸，载盘为吸盘样式，功能：可将晶圆置于其上，自动识别晶圆的平边/Flat/Notch，并旋转到特定的角度，使晶圆能够处于期望的角度上，多用于EFEM搬运系统，solidworks格式文件，同时包含XT格式
内部细节图
侧视图1
侧视图2
俯视图
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